国内光刻机产业链：

1、光刻机整机：

上海微电子、大族激光

2、光刻机核心组件：

光源系统：英诺激光

物镜系统：茂莱光学

双工作台：华卓精科

浸没系统：国科精密细数国内光刻机产业链：

1、光刻机整机：

上海微电子、大族激光

2、光刻机核心组件：

光源系统：英诺激光

物镜系统：茂莱光学

双工作台：华卓精科

浸没系统：国科精密

曝光系统：长光所

光栅系统：苏大维格

控制系统：电科数字

3、光刻机配套设施：

光刻胶：华懋科技

掩膜板：汇成真空

涂胶显影：芯源微

曝光系统：长光所

光栅系统：苏大维格

控制系统：电科数字

3、光刻机配套设施：

光刻胶：华懋科技

掩膜板：汇成真空

涂胶显影：芯源微

$上海电气(SH601727)$  $欧菲光(SZ002456)$  $宁德时代(SZ300750)$  

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