久日新材

半导体光刻胶的价格因种类不同而有所差异：

- I线光刻胶：一般的I线单体价格为100-200元/公斤，即10万-20万元/吨。而晶瑞的I线光刻胶产品价格预计在200万元/吨左右.

- KrF光刻胶：单体价格500-1000元/公斤，即50万-100万元/吨。彤程新材量产的KrF光刻胶供给国际市场，价格约600万元/吨，英特美生产的KrF光刻胶约300万元/吨.

- ArF光刻胶：单体价格在3000-10000元/公斤不等，即300万-1000万元/吨。南大光电的ArF光刻胶每吨2600万元，英特美生产的ArF光刻胶约2500万元/吨.

- EUV光刻胶：价格极高，每升高达1万元人民币，即1000万元/吨.

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