$国光电器(SZ002045)$  

英诺激光、海立股份等14家公司被列为光刻机供应链的核心龙头概念股，以下是其中4家公司的具体介绍。

 1. 英诺激光 

  英诺激光牵头的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目启动会在深圳召开，该激光技术是支撑EUV光源预脉冲的核心技术。

 2. 海立股份 

  海立股份控股子公司海立特冷销售光刻机用冷却系统，但该业务规模较小。

 3. 赛微电子 

  在MEMS领域，赛微电子服务的客户已包括全球光刻机、DNA/RNA测序仪等领先企业。

 4. 福晶科技 

  福晶科技曾通过欧洲代理向ASML提供少量光学元件，控股子公司福创光电开展衍射光学元件研发、生产。