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12月24日，华海清科发布公告，公司拟使用自有资金不超过10.045亿元收购参股子公司芯嵛公司剩余82%的股权。离子注入装备是集成电路制造前道工序中的关键装备，芯嵛半导体作为离子注入装备供应商，相关产品已发往客户端验证。

根据SEMI数据，国际市场超九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应，国内市场的离子注入设备仍然主要依赖进口，进口替代需求空间巨大，市场前景十分广阔。

华海清科表示，本次收购完成后，将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发，积极落实“装备+服务”的平台化发展战略，将进一步提升核心竞争力。