太牛了！哈工大官宣搞定13.5nm极紫外光源，EUV光刻机迎来曙光！

哈工大全媒体（梁英爽 田贝达/文 主办方/图）近日，2024黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛决赛举行。由校工会组织，哈工大资产经营有限公司申报、机器人技术与系统全国重点实验室樊继壮教授团队研发的“核工业自动化检测维修机器人”和哈工大先进技术研究院申报、航天学院赵永蓬教授研发的“放电等离子体极紫外光刻光源”两个项目获得大赛一等奖。

“核工业自动化检测维修机器人”已成功应用于国内大型核电集团公司、哈尔滨电气集团等多家企业，获得用户广泛好评。该检修机器人凭借安全性强、高稳定性、高精度定位能力和高效作业优势，已顺利完成多种规格蒸汽发生器传热管的役前和在役检查任务，确保核电设备日常运行的安全可靠。

“放电等离子体极紫外光刻光源”具有能量转换效率高、造价较低、体积较小、技术难度较低等优势，可提供中心波长为13.5纳米的极紫外光，能够满足极紫外光刻市场对光源的迫切需求，为推动我国极紫外光刻领域发展、解决高端制造领域关键问题作出了贡献。