$奥普光电(SZ002338)$  

非球面超精密铣磨设备:

在光刻机的制造过程中,物镜镜片的加工精度至关重要。传统的镜片加工方法往往难以满足现代光刻机对镜片表面形状精度和表面粗糙度的严格要求。奥普光电研制的非球面超精密铣磨设备,通过采用先进的加工技术和高精度的控制系统,能够实现对镜片表面的超精密加工。该设备不仅具有极高的加工精度和加工效率,还能够适应不同形状和尺寸的镜片加工需求,为光刻机物镜镜片的制造提供了有力的技术支持。

自由度快速研抛设备:

在镜片加工的最后阶段,抛磨是确保镜片表面质量和精度的关键步骤。传统的抛磨方法往往存在加工时间长、加工效率低、表面质量不稳定等问题。奥普光电研发的自由度快速研抛设备,通过引入先进的抛磨技术和智能控制系统,实现了对镜片表面的快速、高效、稳定的抛磨加工。该设备不仅能够显著提高镜片的表面质量和精度,还能够大幅缩短加工周期,提高生产效率,为光刻机物镜镜片的制造提供了更加可靠的技术保障。

解决光刻机物镜镜片抛磨难点:

光刻机物镜镜片抛磨过程中面临的难点主要包括加工精度要求高、表面质量难以控制、加工时间长等。奥普光电研制的非球面超精密铣磨设备和自由度快速研抛设备,通过采用先进的加工技术和控制系统,成功解决了这些难点。这些设备不仅能够满足光刻机物镜镜片对加工精度和表面质量的严格要求,还能够大幅提高加工效率和生产效率,为光刻机的制造提供了更加可靠的技术支持。

禹衡光学生产高精度绝对式光栅尺和编码器:保证光刻机工作台定位精度的先决条件

高精度绝对式光栅尺:

在光刻机的制造过程中,工作台的定位精度对光刻效果有着至关重要的影响。禹衡光学生产的高精度绝对式光栅尺,通过采用先进的测量技术和高精度的制造工艺,能够实现对工作台位置的高精度测量。该光栅尺不仅具有极高的测量精度和测量速度,还能够适应不同工作条件和测量需求,为光刻机工作台的精确定位提供了有力的技术支持。

编码器:

编码器是一种用于将机械位移转换为电信号的传感器。在光刻机中,编码器通常用于监测工作台的移动距离和速度,以确保光刻过程的精确性。禹衡光学生产的高精度编码器,通过采用先进的测量技术和高精度的制造工艺,能够实现对工作台移动距离和速度的高精度监测。该编码器不仅具有极高的测量精度和稳定性,还能够适应不同工作条件和测量需求,为光刻机工作台的精确控制提供了可靠的技术保障。

保证光刻机工作台定位精度的先决条件:

光刻机工作台定位精度的保证是光刻效果的关键。禹衡光学生产的高精度绝对式光栅尺和编码器,通过实现对工作台位置和高精度监测,为光刻机工作台的精确定位提供了有力的技术支持。这些产品不仅能够满足光刻机对工作台定位精度的严格要求,还能够提高光刻机的生产效率和产品质量,为半导体产业的发展做出了重要贡献。

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$东方嘉盛(SZ002889)$  $福晶科技(SZ002222)$  

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