$东材科技(SH601208)

东材科技在高端光刻胶材料的技术突破和量产方面均取得了一定进展,具体如下:

 

- 技术突破:东材科技通过与韩国Chemax、种亿化学共同投资设立的成都东凯芯半导体材料公司,在高端光刻胶材料技术上取得了突破。公司在高端光刻胶所需单体的合成方面,解决了高纯度单体的稳定性与批量合成问题;在光酸生成剂(PAG)方面,在工艺路线和提纯技术上已初步形成成果;在树脂材料方面,通过自主研发的聚合技术,获得了较高分子量分布可控性,满足高分辨率曝光需求。

- 量产进展 :成都东凯芯半导体材料公司的生产设备已安装、调试完毕,高端光刻胶所需单体、光酸、树脂等的合成和纯化业务处于试生产和推广应用阶段,中试产品已实现小批量销售。

  

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