高功率薄片超快激光器

      英诺激光的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目，于2025年11月10日通过第一阶段验收，提前完成原定2025年底的研发目标。采用薄片激光器结构，克服传统棒状晶体散热限制，支持大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率输出，适用于超精密加工、EUV光源预脉冲、阿秒技术等场景。 

      完成第一阶段研发，进入产业化准备，第二阶段重点推进规模生产。适用于航空航天、半导体、新型显示、新能源、汽车、碳纤维、机器人、生物医疗、科学研究等多领域的高端加工场景。其中，在超精密加工领域，该激光器可实现高效加工，有效减少飞屑毛刺、提升生产效率；在半导体领域，大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术；在前沿科学领域，薄片激光技术是实现高平均功率阿秒驱动脉冲的有效手段，为阿秒技术走向商用提供了有效路径；在新型显示等其他高端加工场景，高功率、大脉冲能量的紫外、深紫外薄片激光器将以更好的稳定性和更优的成本替代目前尚需进口的准分子激光器，可见薄片激光器在诸多的高端和尖端领域有着广阔的应用前景，将支撑这些领域的发展，而国内该激光器的产业化尚处于空白。英诺激光作为国内固体和超快激光器龙头企业，基于自身深厚的技术和产业化积淀，通过多年来与国内领先科研机构的合作研究，突破了多项关键技术，具备了推进产业化的扎实基础。

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