最近,丰田合成官网公布了一项新的GaN HEMT功率器件技术,主要有几个亮点:

 耐压高达6000V

 该器件已被电源转换器采用,工作电压800V、效率98%

 采用了蓝宝石衬底

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2大难题 阻碍GaN器件超越SiC 理论上,在相同耐压情况下,SiC的导通电阻极限值优于硅,而GaN优于SiC。SiC和GaN都是高耐压、低导通电阻器件的绝佳材料。

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加入氮化镓大佬群,请加VX: SiC耐压可达1200V左右,但面临可靠性和成本问题。GaN衬底的垂直结构器件要实现1200V以上高耐压更不容易,主要挑战在于GaN衬底直径太小,成本太高。 采用异质衬底的GaN HEMT功率器件要实现高耐压也遇到麻烦。尽管GaN的击穿电场强度为3MV/cm,是硅的10倍左右,但由于在施加电压时,HEMT结构的GaN功率器件会局部出现电场集中,因此很难实现超过1000V的高耐压。 新结构实现6000V耐压 蓝宝石衬底、已被800V电源采用 为解决GaN HEMT功率器件的耐压问题,丰田合成开发了一种新型结构的横向GaN功率器件,该结构具有实现高耐压特性的特性,可应用于电动汽车快速充电系统和工业设备应用。

根据技术文献,他们采用了蓝宝石衬底,并制作了GaN/AlGaN/GaN叠层结构。

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获取相关技术文献,请加: 这种结构是如何同时实现高开关速度和高耐压? 丰田合成表示,当形成 GaN / AlGaN / GaN叠层结构时,由于AlGaN中的自发极化,AlGaN上的GaN界面附近会产生空穴,而在AlGaN下的GaN界面附近会产生电子。 因此,该结构不仅具有二维电子气(2DEG),还有二维空穴气(2DHG),电子和空穴很薄,以气态的形式散布在平面上,从而形成了极化超结结构Image 2DEG可以实现高速开关操作,而2DHG可以实现高耐压,从而解决了以往HEMT结构会产生电场集中的难题。 测试结果显示,该结构由于不存在电场集中的区域,GaN器件可以实现超过6000V的超高耐压。 Image 至于为什么不采用行业通用的硅衬底,丰田合成表示,硅衬底是导电的,会导致漏电极(D)和硅衬底之间的耐压成为问题。 虽然可以通过添加较厚GaN层来提高耐压,但由于异质衬底上的晶体生长会产生大量的晶体缺陷,因此耐压低于GaN的物理特性。另外,添加较厚的GaN层需要很高的技术,容易导致硅衬底变形开裂,因此即使加厚也是有限制的。目前底层GaN层的耐压一般在650V左右。 最后,丰田合成表示,2020年以来,他们一直在参与日本环境部的项目,该项目的电源转换器已经采用了这种新结构GaN功率器件,其工作电压达到800V以上(耐压1500V以上)、电源转换效率高达98%以上。


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