武汉敏声BAW滤波器取得重大进展，攻克高钪掺杂氮化铝薄膜制备难题据麦姆斯咨询报道，近日，武汉敏声新技术有限公司（以下简称“武汉敏声”）宣布，公司已经完成WiFi2.4、B40、B41等氮化铝（AlN）薄膜FBAR滤波器产品的主要研发工作，预计在2022年年底实现量产出货。同时，武汉敏声主攻5G新产品，在国内率先打通高钪掺杂氮化铝（ScAlN）全流程工艺，成功研发出适用于N77、N79等5G频段的BAW滤波器。公司技术团队克服高钪掺杂薄膜成分析出和相分离的技术挑战，掌握钪掺杂氮化铝晶体C轴高择优取向薄膜沉积制备方法，突破了高钪氮化铝薄膜刻蚀不均匀、速率慢等工艺难点