光刻胶分为紫外宽谱,g线,I线,KrF,Arf, Immersion和EUV等,紫外宽谱,g线,I线这些由于线宽较长,主要用在对线宽要求不高的PCBA和显示设备,分立器件比如可控硅,MOSFET中,至于KrF可以从BCD工艺一直用到14nm,确实可以这么广告的说,但是实际上KrF最小只能做到120nm的样子,而说用到14nm, 主要是用在金属层,关键的层还是要用ArF和Immersion !!!

目前从公开的资料看能够做Krf的上市公司几乎没有,彤程新材的子公司北京科华算是比较早能够做g线,I线和Krf的,而且产生了销售1个多亿,容大更是没有做KrF,主要是做PCBA和显示用的光刻胶,上海新阳也没有看到有krF和Arf,还是做实事的少,炒作的成分多

而Arf有真真的投入在做的吗?南大光电财报说他们这个项目推迟了,预计投入1.5亿,但是延迟投入(半年报内容)

那么Arf如果真的出来了能够代替Krf吗,Arf比较薄,机台也比较贵,更重要的是Arf的掩模版也是Krf的好几倍,所以Arf即使国内出来了也不可能通过Arf代替Krf的,也没有必要代替

由于光刻胶不能长期保存,一单限制是无法获得,不能备货,所以光刻胶的问题亟待解决,静待国内光刻胶技术突破,特别是Arf和Immersion,而能够用这个的也就2-3个国产的fab,所以市场不会容量那么多的光刻胶企业的,所以真正的做Arf的国内企业也就1-2个获得实惠,很多只是炒作,大家睁大眼睛



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