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半导体测试设备包括前道量测设备和后道测试设备。前道量测设备包括量测类和缺陷检测类质量控制设备;后道测试设备包括测试机、探针台、探针卡等晶圆测试设备,以及测试机、老化修复设备、分选机等封装测试设备。其中,全球半导体测试设备中测试机市场份额最大,占测试设备市场规模的63.1%。2022年,全球测试机市场规模为46.9亿美元,国内半导体测试机市场规模为113.6亿元。

半导体测试机中,SoC 和存储测试机应用范围最广泛,合计市场占比超过 80%,技术壁垒也最高。测试机用于检测芯片功能和性能,对芯片施加输入信号,采集输出信号与预期值对比,判断芯片在不同工作条件下功能和性能的有效性,分选机和探针台将芯片的引脚与测试机的功能模块结合起来,从而实现批量自动化测试。在设计验证和成品测试环节,测试机和分选机配合使用,在晶圆检测环节,测试机和探针台配合使用。其中,SoC 测试机主要针对 SoC 芯片(系统芯片设计)的测试系统;存储测试机主要针对存储器进行测试,通过写入数据后再进行读取、校验测试。

测试机行业集中度较高,美日巨头具备先发优势。2021年,全球半导体测试机市场泰瑞达、爱德万和科休的市场份额占比分别为51%、33%、11%,前三家合计市占率为95%,市场份额高度集中。在国内市场,竞争格局相对分散,国内厂商华***和长***的市占率分别为8%和5%。近年来,国内企业在模拟、数模混合和分立器件测试领域已逐渐实现国产化,但SoC、存储器和RF测试机领域仍需要技术积累。

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