掩模版是集成电路制造过程中的图形转移工具或者母板,承载着图形信息和工艺技术信息。
掩模版是集成电路制造过程中的图形转移工具或者母板,承载着图形信息和工艺技术信息。掩模版的作用是将承载的电路图形通过曝光的方式转移到硅晶圆等基体材料上,从而实现集成电路的批量化生产。掩模版广泛应用于半导体、平板显示、电路板、触控屏等领域。
相比较而言,半导体掩模版在最小线宽、CD(分辨率)精度、位置精度等重要参数方面,均显著高于平板显示、PCB 等领域掩模版产品。平板显示掩模板与半导体掩模板根本不具可比性,难度复杂度精度要远远高于平板显示掩模板
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