光刻机（光刻胶）全产业链核心个股大全

（1）激光光源
光学元件：$晶方科技(SH603005)$、炬光科技、茂莱光学、腾景科技

光学镜头：奥普光电、福光股份、波长光电

光源：$福晶科技(SZ002222)$

系统清洗：蓝英装备

（2）结构零部件
主要个股：电科数字、联合精密、$富创精密(SH688409)$

（3）物镜系统
主要个股：赛微电子、国望光学、国科精密

（4）工作台和沉浸系统
光掩膜版：华润微、路维光电、清溢光电

光刻胶：南大光电、彤程新材、上海新阳、高盟新材

涂胶显影：芯源微

空气净化设备：美埃科技

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