近日，国内第三代半导体领军企业——天科合达摘得北方芯谷新建区第一块工业用地，将投资5.2亿元建设半导体设备产业化基地项目，标志着北方芯谷新建区建设全面启动。
辽宁省集成电路装备及零部件产业园即北方芯谷，位于沈阳市浑南区，总占地面积5.1平方公里，包括建成区五三片区和新建区张沙布片区，规划建设集整机装备、零部件、系统集成等于一体的产业集聚区。天科合达是国内最早从事第三代半导体碳化硅晶片研制的国家级高新技术企业之一。这次摘牌的地块位于北方芯谷新建区，计划建设第三代半导体碳化硅单晶生长炉、高温CVD真空炉等装备研发制造生产基地和半导体设备高温零部件碳化物涂层等终端产品生产基地。项目预计明年初开工建设，年底前投入使用。
北京天科合达半导体股份有限公司副总经理 赵科新表示：“省里包括市里都出台了很多支持半导体产业发展的政策和文件，我们天科集团看到了沈阳市发展半导体产业的决心，尤其我们浑南区大家都知道有很好的一个产业基础，有很好的一个环境，集团也下定决心把这个业务留在沈阳，而且扩大规模进行投资。”
沈阳高新区管委会副主任 张贵勇表示，以天科合达能够落户到新片区正式摘地为标志，我们新片区未来有两平方公里的产业用地可以释放出来，保证北方芯谷下一步的产业集聚所需要的空间需要。浑南区拥有良好的集成电路装备产业基础，集聚了多家引领性IC装备企业，产品覆盖薄膜、前道涂胶显影、单式湿法清洗、分子束外延、干式真空泵、真空机械手、腔体等多个领域，多项技术填补国内空白。年初以来，浑南区进一步加大集成电路产业招商力度，聚焦延链、补链、强链/储备重点项目14个，总投资35.64亿元，预计达产后可新增产值51亿元。下一步，浑南区将加快完善园区基础设施和相关配套，促进意向投资项目早日签约落地、投产达效，推动集成电路装备产业链不断向上下游延伸。
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