中国首台氟化氩光刻机

工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录，集成电路生产装备，包括氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm，中国首台氟化氩光刻机的硬指标，其套刻≤8nm，

整机；张江、上海、东方、奥普。光源；波长、茂莱、福晶。器件；腾景、苏大、炬光、京华、晶方。洁净设备；蓝英、美埃、国林。温控；海立、同飞、赛微、电科，金力泰：
其它；富乐德、华懋、钢研、海立、南大、雅克、大唐、彤程、晶瑞、中微、拓荆、新星等，

$张江高科(SH600895)$$海立股份(SH600619)$$富乐德(SZ301297)$