[发明公布]安全快门及光刻机申请公布号：CN118672064A申请公布日：20

[发明公布] 安全快门及光刻机

申请公布号：

CN118672064A

申请公布日：

2024.09.20

申请号：

2023102576147

申请日：

2023.03.16

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

发明人：

王彦飞;夏洪发;周方展;李运锋

地址：

201203上海市浦东新区张东路1525号

分类号：

G03F7/20(2006.01)I 全部

摘要：

本发明提供一种安全快门及光刻机。其中，所述安全快门包括：盖板、叶片、传动轴和驱动组件；盖板具有一通光孔，驱动组件设置于盖板上，且位于通光孔的侧边；传动轴分别与驱动组件和叶片相接，用于在驱动组件运动时带动叶片转动，以使叶片关闭或打开通光孔；其中，所述传动轴具有联轴部和连接部；所述联轴部与所述连接部相接，所述连接部沿传动轴的径向延伸，且与叶片相接，以支撑叶片。可见，本发明利用传动轴上的联轴部来吸收旋转体间发生的偏心、偏角、振动振幅等轴心偏差，以提升安全快门的运动可靠性，防止卡死或运动不流畅。以及，利用传动轴上的连接部增加对叶片的支撑力，从而减小叶片的偏载力矩，提高运动流畅性。