半导体机械手、半导体机器人，硅片机器人、硅片机械手等，均指半导体晶圆传输机器人。

$新时达(SZ002527)$  半导体机械手、半导体机器人，硅片机器人、硅片机械手等，均指半导体晶圆传输机器人。重点用在半导体工艺设备和Foundry厂等，典型应用如蚀刻机、光刻机、薄膜沉积设备（PVD、CVD）、晶圆清洗设备、CMP设备、离子注入机、检测设备（ATE、探针台、分选机）、涂胶显影机、晶圆片键合机、去胶设备和显影设备等。全球半导体机械手（Semiconductor Wafer Transfer Robots）主要生产商包括了Brooks Automation、RORZE Corporation、DAIHEN Corporation、Hirata Corporation和Yaskawa，Phoenix Engineering。北美是全球最大的半导体机械手市场，其市场份额大约为25%，再者是中国大陆及中国台湾地区。目前改行业属于尖端细分领域，国产替代空间大。目前率先在中国实现国产设备量产的厂家有苏州菲科半导体。