国内头部国产光刻机及半导体设备制造企业主要包括:
上海微电子装备(集团)股份有限公司:中国领先的半导体设备制造商,专注于研发、制造和销售半导体微影设备,如光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等。已成功研发出90纳米、110纳米、280纳米以及55纳米四大系列的国产光刻机。
北京华卓精科科技股份有限公司:国内在半导体设备领域具有重要地位的企业,专注于高精度运动控制及超精密制造技术的研发。
科益虹源光电:也是国内光刻机领域的重要参与者,致力于相关技术的研发和应用。
北方华创:提供广泛的半导体设备,包括刻蚀、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、清洗等设备,是国内领先的半导体设备制造商。
中微公司(AMEC):专注于等离子体刻蚀设备和金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,在65纳米至5纳米的先进制程中拥有显著的技术优势。
盛美上海:专注于半导体清洗设备和封装湿法设备,其产品在提高芯片良率和降低污染方面表现出色。
拓荆科技:专注于半导体薄膜沉积设备,包括原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)设备,在先进制程中的应用日益广泛。
华海清科:主要提供化学机械抛光(CMP)设备,用于半导体制造中的平坦化处理,对提高芯片表面质量和性能至关重要。
这些企业在国内光刻机及半导体设备制造领域具有重要地位,并持续推动技术创新和产业升级。
$光刻机(胶)(BK0884)$
$半导体(BK1036)$
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