光刻机是芯片制造的核心工艺，占芯片制造1/2的时间+1/3的成本，光刻机被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”。国内半导体先进制程的自

$永新光学(SH603297)$  $茂莱光学(SH688502)$  $腾景科技(SH688195)$  

光刻机是芯片制造的核心工艺，占芯片制造1/2的时间+1/3的成本，光刻机被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”。国内半导体先进制程的自主可控，光刻机攻坚势在必行。2023年ASML设备收入219亿欧元，产品相关支出为106亿欧元，以此测算，上游零部件成本占比约48%。海关数据统计，2023年国内半导体用光刻机进口金额约87.4亿美元，若供应链实现全国产替代，对应上游零部件市场空间约300亿元，考虑现有存量光刻设备的备件更换，市场空间有望进一步增大。举国之力下，光刻机产业化将逐步推进，零部件投资先行，强调重视光刻机产业链的投资机会。

建议关注,光刻机零部件：福晶科技、永新光学、茂莱光学、奥普光电、腾景科技等；光刻机相关材料：华懋科技、晶瑞电材、龙图光罩等。