行星减速机在晶圆搬运机器人和光刻机中

具体应用场景包括：
晶圆制造：在晶圆搬运机器人和光刻机中，行星减速机能够提供纳米级别的曝光精度，确保晶圆的质量和生产效率1。
芯片封装：在贴片机和引线键合机中，行星减速机提供高扭矩输出和精确的运动控制，确保芯片的准确贴装和引线键合，提高封装效率和质量1。
半导体测试：在自动测试设备(ATE)中，行星减速机确保测试探针与芯片的准确接触和测试过程的稳定性，提高测试效率和准确性1。
总之，行星减速机在半导体行业中发挥着至关重要的作用，通过提供高精度、高稳定性和高可靠性的传动解决方案，显著提升了半导体设备的性能和生产效率。