珂玛科技301611:公司先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造前道工序,已覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备。公司为主流国产半导体设备厂商的主要核心陶瓷零部件供应商。静电卡盘和陶瓷加热器产品,目前国内厂商只有公司能够量产。从材料看,公司产品已经覆盖了氧化物、氮化物和碳化物,实现了全产业链布局;生产静电卡盘主要陶瓷材料是氧化铝,生产陶瓷加热器的主要陶瓷材料是氮化铝。[火箭][火箭][火箭][火箭][火箭]
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