金融界2024年11月19日消息,国家知识产权局信息显示,江苏启微半导体设备有限公司及上海至纯洁净系统科技股份有限公司取得一项名为“一种防溢流装置及供液装置”的专利,授权公告号 CN 222015353 U,申请日期为2023年12月。
金融界2024年11月19日消息,国家知识产权局信息显示,江苏启微半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆传送装置”的专利,授权公告号 CN 222015368 U,申请日期为 2023 年 9 月。提升晶圆传送效率的革命性装置。
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