$晶盛机电(SZ300316)$ 大智慧数据中心显示,2024年11月19日有关晶盛机电4条专利信息,以下提供3条专利详细信息,更多数据请到国家知识产权局网查看
专利名称
一种抛光设备
最新公布日
2024-11-19
最新公布号
CN118977198A
申请日
2024-10-21
申请号
CN202411473907.X
发明人
韩鹏飞、黄金涛、李阳健、郑猛、朱亮
专利代理机构
杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人
赵杰香
摘要
本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光设备，包括设备主体，所述设备主体包括：抛光盘；布设机构，所述布设机构用于抛光盘上布设抛光垫，所述布设机构包括：载体，所述载体具有一承载面，所述承载面用于承载抛光垫，所述承载面上至少具有一连接部，所述连接部用于可拆卸连接抛光垫，以使抛光垫可贴合于所述承载面上；所述承载面可与所述抛光盘抵压配合，以使所述抛光垫与所述抛光盘形成一受力段。解决了如何提高抛光垫粘贴品质的技术问题，达到有效提高抛光垫粘贴品质的技术效果。
专利名称
一种抛光设备
最新公布日
2024-11-19
最新公布号
CN118977197A
申请日
2024-10-21
申请号
CN202411472577.2
发明人
韩鹏飞、黄金涛、李阳健、郑猛、朱亮
专利代理机构
杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人
赵杰香
摘要
本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光设备，包括设备主体，设备主体包括抛光盘；布设机构，所述布设机构用于抛光盘上布设抛光垫。本申请提供一种抛光设备，解决了如何提高抛光垫粘贴品质的技术问题，达到有效提高抛光垫粘贴品质的技术效果。
专利名称
一种抛光设备
最新公布日
2024-11-19
最新公布号
CN118977196A
申请日
2024-10-21
申请号
CN202411472540.X
发明人
韩鹏飞、黄金涛、李阳健、郑猛、朱亮
专利代理机构
杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人
赵杰香
摘要
本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光设备，包括设备主体，所述设备主体包括：抛光盘；布设机构，所述布设机构用于抛光盘上布设抛光垫，所述布设机构包括：载体，所述载体具有一承载面，所述承载面用于承载抛光垫，所述承载面上至少具有一连接部，所述连接部用于可拆卸连接抛光垫，以使抛光垫可贴合于所述承载面上；所述承载面可与所述抛光盘抵压配合，以使所述抛光垫与所述抛光盘形成一受力段。解决了如何提高抛光垫粘贴品质的技术问题，达到有效提高抛光垫粘贴品质的技术效果。
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