至期光子投产了项目，，，光刻机中的投影物镜：在半导体制造过程中，光刻机是实现芯片图案精确转移的关键设备。而投影物镜作为光刻机的核心部件之一，负责将掩模版上的图案精确投影到硅片表面。投影物镜由多个高精度的光学镜片组成，通过复杂的透镜组合和精密的机械调整，确保图案在硅片上的精确复制。

成像系统：光刻机的成像系统由数十块独立的透镜和反射镜组成，各种运动装置对每个透镜、反射镜的组件进行精确且细微的调整，以确保在晶圆上获得完美的图案。此外，光刻机的成像系统可采用分辨率增强技术来提高成像质