$英诺激光(SZ301021)$  

英诺激光有应用于光刻机领域的相关产品及技术.具体情况如下：

- 产品应用：目前其在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器，亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器，客户以国外知名半导体装备公司为主.

- 技术研发：公司已立项“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目，努力推进大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率和高平均功率的激光技术落地，该技术是支撑EUV光源预脉冲的核心技术.

- 市场合作：英诺激光是上海微电子明确的光源合作单位，其28纳米深紫外线激光器已开始小批量供货上海微电子.