喜报：连科半导体8吋碳化硅电阻式长晶炉获得数十台批量验收
连城数控
2024年11月28日 11:01江苏听全文


近日连科半导体8吋碳化硅电阻式长晶炉（型号：PVT-RS-40）在客户现场完成批量验收，标志着连科半导体八吋电阻炉量产进入国内第一梯队。

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成功制备
直径超210毫米，厚度30毫米的8吋导电型Sic晶体，晶体表面光滑无缺陷。

连科半导体为客户提供的8吋碳化硅电阻式长晶炉，可根据客户的不同需求，提供专业化定制，助力客户完成低缺陷、高良率的优质衬底。


电阻炉通过石墨电阻发热，热辐射传导石墨坩埚进行加热，可调整石墨加热器的结构，有效的进行分区功率控制和温场的控制，更适合生长大尺寸的碳化硅晶体。
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我们的优势：
1、成熟的热场设计：轴径分离，有利于缺陷控制；良好的径向温场，可实现低应力、低裂损，晶体厚度可达30mm；
2、以工艺适配性：可配备多个加热器并独立控制，便于调整温度梯度；
3、智能化：一键启动、可集中监控，人员需求少，可根据客户需求，定制长晶环节自动化生产线；
4、其他优势：上下料方便拆卸，热场使用寿命长，坩埚提拉稳定性好，电源抗干扰、稳定性强。