居然还有氧化鎵概念。物产中大投资近日，公司投资企业杭州富加镓业科技有限公司（以下简称“富加镓业”）6英寸氧化镓单晶及外延片生长线在杭州富阳开工建设。这是国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，与国际同时起步的6英寸单晶生长技术及更加适合量产的外延技术将“换道超车”，助力新型超宽禁带半导体氧化镓产业链高质量快速发展。
据了解，目前国际上仅仅有日本NCT（Novel Crystal Technology, Inc）有6英寸氧化镓量产计划。富加镓业是国内目前唯一一家同时具备6英寸单晶生长及外延的公司。该生产线高度集成单晶生长、衬底加工、外延及检测，项目建成后，具备年产1万片6英寸氧化镓单晶及外延片能力。整条产线涉及 “一键长晶”单晶生长设备、多线切割设备、高精度研磨抛光设备、倒角设备、激光加工设备、全自动化晶片清洗设备、高通量外延设备、表面缺陷检测仪、电学性能测试仪等关键设备。面向未来，6英寸的氧化镓单晶及外延片将为下游器件厂商提供稳定可控的高质量氧化镓材料。