$黄河
西安交通大学
王宏兴教授研究团队成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底国产化。团队历经10年潜心研发,通过对成膜均匀性、温场、流场及工艺参数的有效调控,独立自主开发了2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底,提高了异质外延单晶金刚石成品率与晶体质量,并成功实现批量化生产。这一创新成果标志着我国在金刚石超宽禁带半导体材料领域的研究已达到国际领先水平,为金刚石的半导体应用奠定了基础。
风(SH600172)$
追加内容
本文作者可以追加内容哦 !