凌云光的光刻机技术有其独特之处和一定的发展水平，具体如下：
高精度光刻耦合封装技术
凌云光与德国Vanguard合作的全自动3D光刻耦合封装平台，采用3D光刻工艺，可制备出任意形状高分子聚合物光波导和微光学透镜，实现芯片-芯片/芯片-光纤光耦合互联 。其高速、高精度驱动，分辨率可达20nm，高精度定位平台的（x,y）行程范围≥250mm，在光刻耦合封装领域达到较高精度水平.
机器视觉技术的应用拓展
凌云光以“视觉+AI”为理念，在机器视觉和人工智能结合方面有深厚积累，其技术可应用于光刻机的对准系统等，通过高精度图像识别和处理，实现更精准的光刻对准，从而提高光刻精度和芯片制造质量，为光刻机的应用环节提供了有力的技术支持.
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