磁悬浮小流量真空泵包含磁悬浮分子泵，但二者不能完全等同。
磁悬浮分子泵是磁悬浮小流量真空泵的一种常见类型。它利用高速旋转的叶片或转子，将气体分子从进气口传输到排气口，从而实现抽气获得真空的目的。其特点是可以获得高真空度，并且磁悬浮技术的应用使得它运行更加稳定、振动小。
除此之外，磁悬浮小流量真空泵可能还包括其他类型的泵，只要是利用磁悬浮技术且流量较小，用于产生真空环境的泵都可以被归为此类。
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