光刻胶+臭氧设备+节能环保
1、23年9月14日互动易回复：子公司国林半导体臭氧设备产品从2022年下半年开始进行市场导入，2023年以来陆续在半导体、面板、科研等行业领域出货验证，该产品用于化学气相沉积（CVD）、原子层薄膜沉积（ALD）、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。 2、公司具有PSA、VPSA制氢技术和产品的储备。23年2月9日互动平台回复：公司目前研制的光伏用高浓度臭氧水机主要用于生产HJT 异质结类型电池板，主要在制绒，清洗和薄膜沉积工序应用。 3、公司专业从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案设计与臭氧系统设备安装、调试、运营及维护。 4、公司产品是环保领域的关键技术装备，主要应用于市政给水深度处理、市政污水和中水处理、各类难降解工业废水处理、烟气脱硝处理等行业的大型环保治理工程收起
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