高纯度石英制造------光刻机镜头

光刻机镜头，特别是EUV光刻机镜头，堪称宇宙中人造的最平整光滑的镜面，对材料的纯度、硬度、稳定性和透光性有极高要求。高纯度石英材料因其高硬度、高稳定性、低热膨胀系数以及良好的透光性，成为制造光刻机镜头的理想选择。它可以抵抗化学腐蚀和高温环境，保证镜头的精度和耐用性，同时确保成像的清晰度

在制造过程中，高纯度的石英被融化后造出一个平整度极高的基底，再经过多层化学气相沉淀、抛光和镀膜等复杂工艺，以达到所需的精度和反射率。这种镜头在光刻机中起着将极紫外光聚焦到硅晶片上的关键作用，直接关系到芯片制造的精度和质量