光刻机最核心的技术：英诺激光EUV光源预脉冲
远岸半导体信息网
2024年11月12日 07:00 广东

英诺激光：大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术。
公司成立于2011年，是国内首家专注固体及超快激光领域的上市公司，是全球少数同时具有纳秒、亚纳秒、皮秒、飞秒级微加工>激光器企业之一，是全球少数实现工业深紫外激光器批量供应的企业之一。
2024年7月14日，由英诺激光牵头的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目启动会在深圳成功召开。中国工程院院士、深圳大学特聘教授范滇元教授，中国科学院大连化学物理研究所化学激光先进精密光学技术研究组组长、国家光子标准专业委员会元件与材料分会副主任委员李刚研究员，浙江大学光电科学与工程学院光学工程研究所所长刘崇教授，英诺激光董事长赵晓杰博士等专家和项目团队核心成员出席了会议。与会人员高度认同高功率薄片超快激光器的发展前景和重大意义，并围绕项目目标就实施方案和下阶段实施计划开展了富有成效的讨论。“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目顺应了超精密制造发展和制造业转型升级的内在需求，聚焦于千瓦级固体激光器、尤其是超快激光器的关键技术，目标是快速实现国内高功率薄片超快激光器的产业化。
该激光技术以其大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率和高平均功率等优势，既可以克服传统棒状晶体结构技术路线的散热限制，又可以避免因激光损伤和非线性带来的光纤激光技术路线不适合于大脉冲能量和高峰值功率的缺点，能够更好地实现高效、高质、高可靠、低成本的精密加工、尤其是“冷加工”，适用于航空航天、半导体、新型显示、新能源、汽车、碳纤维、机器人、生物医疗、科学研究等多领域的高端加工场景。其中，在超精密加工领域，该激光器可实现高效加工，有效减少飞屑毛刺、提升生产效率；在半导体领域，大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术；在前沿科学领域，薄片激光技术是实现高平均功率阿秒驱动脉冲的有效手段，为阿秒技术走向商用提供了有效路径；在新型显示等其他高端加工场景，高功率、大脉冲能量的紫外、深紫外薄片激光器将以更好的稳定性和更优的成本替代目前尚需进口的准分子激光器，可见薄片激光器在诸多的高端和尖端领域有着广阔的应用前景，将支撑这些领域的发展。
国际上，德国通快公司掌握了该激光技术并推出系列化产品。而国内的该激光器的产业化尚处于空白，与前述公司的差距集中在薄片激光器增益模块的设计、制造和封装工艺、多冲程泵浦模块等关键技术。英诺激光作为国内固体和超快激光器龙头企业，基于自身深厚的技术和产业化积淀，通过多年来与国内领先科研机构的合作研究，突破了多项关键技术，具备了推进产业化的扎实基础。此次，英诺激光联合中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学、深圳大学等国内领先科研机构，聚焦于完全自主知识产权的薄片激光器增益模块的设计、制造和封装工艺、多冲程泵浦模块、高功率皮秒薄片激光器核心部件等，将在设计、材料、加工、封装和调试等方面形成更多创新点和发明专利，加速高功率薄片超快激光器的产业化进程，从而支撑高端制造业的发展。作为“科技重大专项项目”之一，深圳市科技创新局已于日前批准该项目立项，以资助公司使该项目圆满达成预期目标。“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目立足于公司在固体和超快激光器领域的深厚的技术和产业化积淀，将实现具有完全自主知识产权的工业级激光器从百瓦级向数千瓦级的跨越，凭借显著的性能优势打开全新和更为广阔的应用领域。公司将以此为契机，秉持创新驱动，坚定走“专精特新”之路，进一步强化在国内激光行业的领先优势，提升在全球激光行业的竞争力，践行“用激光造福人类”的使命。