$中巨芯-U(SH688549)$ 一、中巨芯的电子湿化学品产品种类齐全,包括电子级氢氟酸、硫酸、硝酸、盐酸、氨水、氟化铵以及缓冲氧化物刻蚀液等,其中电子级氢氟酸/硫酸/硝酸均达到G5级,电子级盐酸/氨水/氟化铵以及缓冲氧化物刻蚀液可达到G4级。这些产品在行业内品质领先,并已批量供货给SK海力士、台积电、德州仪器、中芯国际等多家知名半导体企业。中巨芯是国内少数能够稳定批量供应12英寸1Xnm(10-20nm)制程集成电路制造用电子级氢氟酸的企业之一,同时也能为逻辑芯片和存储芯片制造稳定批量供应电子级硝酸和硫酸。
二、公司具备为12英寸集成电路晶圆厂组合批量供应产品的能力。中巨芯的前驱体材料主要包括HCDS、BDEAS和TDMAT等。这些前驱体材料主要用于半导体制造中的薄膜沉积工艺,特别是用于沉积半导体导线间的介电层和栅极中的复合金属材料。随着集成电路制造工艺的进步,对前驱体材料的纯度要求越来越高,目前中巨芯已经实现了HCDS、BDEAS和TDMAT等产品的6-7N纯度生产,并进入客户认证阶段。这些前驱体材料在集成电路制造中起到关键作用,尤其是在先进制程(28nm及以下)中,需要纯度达到6N以上的前驱体材料。
三、中巨芯科技股份有限公司(以下简称“中巨芯”)计划通过其参股子公司晶恒希道(上海)科技有限公司收购英国半导体高纯石英材料制造商Heraeus Conamic UK Limited(以下简称“HC”)的全部股权。此次收购旨在加强中巨芯在半导体材料领域的地位,特别是在高纯石英砂供应链方面,以补充国内市场依赖进口的现状。
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