$聚光科技(SZ300203)$ 您对公司的关注,公司的EXPEC 7350三重四极杆电感耦合等离子体质谱(ICP-MS/MS)目前已在半导体制造商实现了销售与产品交付,为制造商提供提供硅片/碳化硅片表面的超痕量杂质的分析能力建设。此外,EXPEC 7350在VPD-ICP-MS/MS在线联用、高纯湿化学品分析、高纯硅烷分析、高纯多晶硅分析、特种气体分析等半导体行业的重点分析测试领域中的应用效果均取得了长足进展,实现了应用落地,目前正与集成电路行业头部企业进行联合应用验证的过程中,已逐步进入国内集成电路制造的主要领域。
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