英诺激光向苹果公司顺利交付了首台MicroLED巨量转移关键设备。这一事件标志着英诺激光在MicroLED业务上的如期落地。此次交付的设备为激光去晶设备,是“剥离-转移-去晶-补晶-共晶”工艺线的关键制程,利用激光光束整形和聚焦技术,辅以平台控制系统,去除不良芯片、异物、残胶等,确保晶粒无损伤、无粉尘残留,从而提升巨量转移和修复制程的良率和效率。英诺激光在MicroLED领域已积累对外延制造、芯片制造、驱动设计、巨量转移等全制程深刻认知,并且正在布局一条巨量转移工艺示范线。
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