1. 项目概况:碧水源在北京中芯国际新水源厂项目中,采用了“UF-RO”双膜技术(超滤膜-反渗透膜),以小红门污水厂出水作为水源,经过双膜工艺净化处理后,为中芯国际芯片制造供给工业用超纯水。
2. 项目示范意义:该项目是碧水源首座“UF-RO”双膜工艺示范项目,有效保障了中芯国际北方项目集成电路板生产用水水质,为我国污水资源化在高端制造工业中的应用起到了示范作用。
3. 技术工艺/装备简介:CMF(连续膜过滤)技术采用碧水源具有完全自主知识产权的超滤膜技术,利用超滤膜两侧的压力差,使水和溶解物透过膜,而截流悬浮物、细菌等。反渗透技术采用碧水源自主生产的反渗透膜元件,脱盐率高,出水水质稳定,几乎能阻挡所有溶解性盐及分子量大于100的有机物。
4. 项目运行效果:该项目于2016年6月建成投产,稳定运行5年,年均处理污水量约154万吨,净化为工业超纯水,为中芯国际(北方)提供芯片制造工艺用水。
5. 社会效益与生态效益:该项目年产值超过6000万元,既有效保障中芯国际(北方)项目集成电路板生产用水水质,又实现产城融合废水高效循环利用,为积极推动工业废水资源化利用,推动我国高质量、可持续发展起到示范作用。同时,该项目实现了污水变废为宝,取得了良好的生态效益。
6. 超纯水专用膜截留精度:碧水源的超纯水专用膜截留精度达到1nm以内,接近国际先进水平,能够满足芯片制造对超纯水的高要求。
综上所述,碧水源通过其先进的双膜技术为中芯国际提供了高质量的超纯水,这一合作不仅保障了中芯国际的生产需求,也展示了污水资源化在高端制造工业中的有效应用。
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