$盛美上海(SH688082)$ 12月11日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”）宣布，其2024年推出的Ultra Fn A等离子增强型原子层沉积炉管设备（PEALD）已初步通过中国大陆一家半导体客户的工艺验证，正在进行最后优化和为迈入量产做准备。同时，盛美上海于2022年推出的Ultra Fn A热原子层沉积炉设备（Thermal ALD）也已成功通过另一家领先的中国大陆客户的工艺验证，性能参数对标同类国际竞品。
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