MOCVD设备从蓝绿光LED市场出发,拓展碳化硅和氮化钾基功率器件市场。公司紧跟MOCVD市场发展机遇,积极布局用于碳化硅和氮化钾基功率器件应用的市场,并在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得良好进展,已付运和将付运几种MOCVD新产品零配件进入市场。
薄膜设备启动放量,刻蚀+薄膜+量检测合计覆盖约33%集成电路设备。薄膜沉积设备研发方面,公司目前已有多款新型设备产品进入市场,其中部分设备已获得重复性订单,其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用,并已完成多家逻辑和存储客户对CVD/HAR/ALDW钨设备的验证,取得了客户订单。公司EPI设备已顺利进入客户验证阶段,以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。公司通过投资布局了光学检测设备板块,并计划开发电子束检测设备,将不断扩大对多种检测设备的覆盖。
目前在研项目涵盖六类设备,20多个新设备开发,加码研发助力三维发展。公司显著加大研发力度,以尽快补短板,实现赶超。公司目前在研项目涵盖六类设备,20多个新设备的开发,公司继续瞄准世界科技前沿,持续践行三维发展战略,聚焦集成电路关键设备领域,扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会,公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备等设备产品研发、市场布局、新业务投资拓展等诸多方面取得了较大的突破和进展,产品不断获得海内外客户的认可,为公司持续健康发展提供了有力支撑。
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