中微公司、先锋精科:刻蚀设备零部件领军企业,公司股东和大客户捆绑关系,ICP开启放量,迈向工艺全覆盖。2024营收增长大于50%,公司的等离子体刻蚀高端设备零配件已批量应用在国内外一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线,针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升,CCP和ICP刻蚀设备的销售增长和在国内主要客户芯片生产线上市占率均大幅提升。其中ICP开启放量。工艺覆盖方面,超高深宽比掩膜、超高深宽比介质刻蚀、晶圆边缘Bevel刻蚀等进展顺利。
MOCVD设备从蓝绿光LED市场出发,拓展碳化硅和氮化钾基功率器件市场。公司紧跟MOCVD市场发展机遇,积极布局用于碳化硅和氮化钾基功率器件应用的市场,并在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得良好进展,已付运和将付运几种MOCVD新产品零配件进入市场。
薄膜设备启动放量,刻蚀+薄膜+量检测合计覆盖约33%集成电路设备。薄膜沉积设备研发方面,公司目前已有多款新型设备产品进入市场,其中部分设备已获得重复性订单,其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用,并已完成多家逻辑和存储客户对CVD/HAR/ALDW钨设备的验证,取得了客户订单。公司EPI设备已顺利进入客户验证阶段,以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。公司通过投资布局了光学检测设备板块,并计划开发电子束检测设备,将不断扩大对多种检测设备的覆盖。
目前在研项目涵盖六类设备,20多个新设备开发,加码研发助力三维发展。公司显著加大研发力度,以尽快补短板,实现赶超。公司目前在研项目涵盖六类设备,20多个新设备的开发,公司继续瞄准世界科技前沿,持续践行三维发展战略,聚焦集成电路关键设备领域,扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会,公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备等设备产品研发、市场布局、新业务投资拓展等诸多方面取得了较大的突破和进展,产品不断获得海内外客户的认可,为公司持续健康发展提供了有力支撑。
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