据悉,离子注入设备涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学,理论门槛高,系统集成难度大。根据SEMI数据,在全球及国内市场中,超过九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应,市场集中度较高。
而芯嵛公司核心技术团队专注于离子注入行业30多年,具有丰富的离子注入行业经验,在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数,并对设备核心模块离子束流系统的传输路径进行了升级改进,使得芯嵛公司目前的产品较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优,且设备零部件的国产化率更高。
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