EUV光刻机的工作原理涉及多个复杂的物理过程，主要包括以下步骤：
1. 极紫外光源产生：
在自然环境中不存在EUV极紫外光，需要人工制造。目前最常用的是激光等离子体（LPP）技术。
在光刻机内部的锡液滴发生器，每秒能喷出50000滴极小的金属锡液滴。
强大的二氧化碳激光器以每秒2次的频率发出高能量激光，轰击锡液滴。（除英诺外，还有谁在攻克或已攻克这种超强的千瓦级薄片激光器）
锡液滴被激光击中后，瞬间汽化成等离子体，当等离子体冷却，被电离的原子核和电子重新结合时，电子从高能级回落到基态，会辐波长约为13.5纳米的极紫外光。