金融界2024年12月26日消息，国家知识产权局信息显示，京东方华灿光电（苏州）有限公司申请一项名为“石墨载盘、半导体器件的制作方法”的专利，公开号CN 119177491 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本公开实施例提供了一种石墨载盘、半导体器件的制作方法，属于半导体制造技术领域。该石墨载盘的表面具有多个凹槽，凹槽具有相连的平边和圆弧边。本公开实施例能提高外延生长的良率，降低生产成本
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