KrF光刻胶
主要用于8英寸的成熟制程,应用占比20%-30%左右。北京科华的KrF胶产品序列较为完善,量产品种达20种以上,部分产品已成为国内龙头晶圆厂产线第一供应商。
ArF光刻胶
占据半导体光刻胶市场的40%-50%左右,是目前最重要的半导体光刻胶之一,主要用于12英寸的成熟制程。北京科华ArF胶部分型号的开发已经完成,并有产品于2024年第一季度通过下游客户认证,准备在第二季度开始上量,且上海产线的年产能可达一千吨。
G/I线光刻胶
主要用于6英寸和8英寸的成熟制程,应用占比只有10%-20%左右,国内已有不少企业能生产,如北京科华已实现大规模量产。
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