程新材的光刻胶用于半导体生产。其旗下子公司北京科华微电子是国内领先的光刻胶产品供应商与服务商,产品覆盖KrF、I-line、G-line、紫外宽谱系列光刻胶等。具体情况如下:

KrF光刻胶

主要用于8英寸的成熟制程,应用占比20%-30%左右。北京科华的KrF胶产品序列较为完善,量产品种达20种以上,部分产品已成为国内龙头晶圆厂产线第一供应商。

ArF光刻胶

占据半导体光刻胶市场的40%-50%左右,是目前最重要的半导体光刻胶之一,主要用于12英寸的成熟制程。北京科华ArF胶部分型号的开发已经完成,并有产品于2024年第一季度通过下游客户认证,准备在第二季度开始上量,且上海产线的年产能可达一千吨。

G/I线光刻胶

主要用于6英寸和8英寸的成熟制程,应用占比只有10%-20%左右,国内已有不少企业能生产,如北京科华已实现大规模量产。
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