烟台万华电子材料有限公司自主研发的乙硅烷产线一次性投料开车试产成功

烟台万华电子材料有限公司（下称“万华电子”）自主研发的乙硅烷产线一次性投料开车试产成功。

乙硅烷是芯片先进制程及相关高阶工艺制程的关键材料，伴随半导体新技术新制程的更迭，14nm、7nm等高制程芯片对乙硅烷的需求量越来越大。但是因为存在技术壁垒，这一产品长期被国外企业高度垄断。近日，随着万华电子乙硅烷产线的投产成功，这一局面将被打破。

万华电子是万华节能集团为响应国务院《中国制造2025》和山东省“新旧动能转换”决策部署而成立的专业从事乙硅烷、高纯硅烷等电子气体研发、生产、销售和服务的高科技企业。

相较于目前广泛运用的硅烷，万华电子自主研发、生产的乙硅烷产品具有更高薄膜致密度，大幅提升及改善沉积薄膜的平滑性、连续性，良好掺杂兼容性及低沉积温度，并且大幅提高成膜速率、生产效率等优势。