微震镜，通常指微型振镜或MEMS微振镜，是一种可精确控制微小镜面平动和扭转往复运动的光学器件，以下是关于它的介绍：
工作原理
• 压电陶瓷电机驱动：利用压电陶瓷的逆压电效应，当给压电陶瓷施加电压时，它会产生变形，从而带动镜面运动，如AU-M3-RS微型振镜就是采用这种驱动方式。
• 电磁驱动：由微镜、通电线圈、扭壁梁、稳定磁场和支撑框架构成，通过施加电流来控制微振镜的振动，实现激光束的精确调节和控制。
特点
• 超小尺寸：如AU-M3-RS微型振镜直径小于12mm，能集成到紧凑空间中。
• 高精度：角分辨率可达0.025甚至更高，能实现光束的精确定位和控制。
• 低功耗：采用自锁设计，只有在移动时才使用动力，降低了能耗。
• 无需外加控制器：内置微处理器及PID控制器，通过标准的I2C或者SPI接口即可驱动。
应用领域
• 激光加工：在激光切割、打标、雕刻等应用中，微振镜可快速精确地控制激光束的位置和方向，实现对工件的高精度加工。
• 医疗领域：用于皮肤科激光治疗、荧光显微镜和成像仪器、体内和体外的微激光手术等，帮助医生更精确地进行诊断和治疗。
• 3D打印：通过控制激光束的扫描路径，实现三维物体的快速成型。
• 激光雷达：是激光雷达半固态方案的核心扫描元件，通过精确控制镜面偏角来控制激光的偏转方向，实现对周围环境的三维信息采集。
• 通信领域：在自由空间光通信中，微振镜可用于光束的指向和跟踪，提高通信的稳定性和可靠性。
分类
• 压电陶瓷电机微型振镜：具有精度高、响应速度快等优点，适用于对精度和速度要求较高的场合。
• 电磁驱动型微振镜：扫描角度大，可提供较大的偏转范围，常用于激光切割系统等领域。
• 谐振式微振镜：利用谐振频率进行操作，能在特定频率下实现较大振幅的振动，提高了光束控制的精度和效率。