海立集团与上海微电子装备在封装光刻机冷却系统配套、产品联合开发、跨专业的复合型人才培养等多方面进行合作，两家公司互相培养相关的人才，为后来的研发和生产储备高精端的人才，新一代高科技光刻机的研发任重而道远，需要两家公司紧密的合作，利用自己各方面的优势来和对方展开深入的合作交流，共同发展，为我国生产高端的光刻机产品，并且计划开展共建联合实验室等全系统、全方向、多领域的合作。上海电气集团是海立股份的控股总公司，同时也是上海微电子的大股东，这使得两家公司在资本层面也存在关联。在大股东的促进下，两家公司展开合作，尤其是在光刻机领域，光刻机领域在我国还算是个短板，国家更要鼓励这些光刻机企业，并且支持他们的发展，提供一切支持，上海国资委更是看重上海微电子在光刻机领域的地位，提供全方位的支持，希望不久的将来，我们能生产出世界同等水平的光刻机