记者从高新区管委会获悉，贵研铂业股份有限公司承担的国际合作计划专项项目“半导体器件用镍铂靶材的制备关键技术及产业化”近日通过了云南省科技厅项目验收，总体评价为优秀。

项目实施过程中，项目组开展了镍铂靶的真空熔铸及塑性加工、靶材机加工处理、靶材绑定及清洗包装、靶材加工过程中产生的边角料及碎屑及使用后的残靶中的贵金属绿色高效回收等方面的研究，在镍铂靶的微观结构及择优取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技术、异型靶材的冲压成型技术；刀具的选型、装夹工具设计及机加工优化技术；靶材与背板的高可靠性焊接技术；加工过程中产生的边角料清洗再利用技术、Pt的绿色高效化学提纯技术四个方面取得较大突破。

项目实施以来，取得了良好的经济社会效益。目前，该公司建成了年产1000片镍铂靶产品示范生产线，形成了长方状、碗状和圆形3种外形，5种不同Pt含量的镍铂靶材产品，技术性能指标及尺寸精度满足了用户使用要求，实现了替代进口并出口至美国知名半导体公司。