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新凯来 $新莱应材(SZ300260)$   在326日开幕的SEMICON China 展会上首次公开亮相,携31款覆盖半导体制造全流程的高端设备引发行业震动。

以下是核心动态梳理:

一、公司动态与战略定位

1. 首次公开亮相

首次参展即展示以中国名山命名的设备矩阵,包括薄膜沉积(PVD“普陀山”、CVD“长白山”)、刻蚀(ETCH“武夷山”)、外延(EPI“峨眉山”)及光学检测设备(如“莫干山MBI”)等,技术指标直指国际顶尖水平。

2. 资本与政策背景

母公司为深圳市重大产业投资集团(深圳国资委全资控股),注册资本超10亿元。

董事长戴军兼任国家大基金二期监事及中芯国际(深圳)董事,强化产业链协同与政策资源支持。


核心产品与技术突破

工艺设备

EPI“峨眉山”:第三代半导体外延沉积设备,突破碳化硅/氮化镓外延生长技术,打破应用材料垄断。

 RTP“三清山”:12英寸超快尖峰退火设备,热预算降低30%,适用于28nm以下逻辑芯片制造。

ALD“阿里山”:原子层沉积设备实现原子级薄膜控制,填补国内空白。

2. 量检测装备

 光学检测设备:明场缺陷检测(BFI“岳麓山”)、暗场缺陷检测(DFI“丹霞山”)等,检测速度达300片/小时,14nm节点精度接近国际水平。

X射线检测设备:XPS/XRD“赤壁山-XP”核心光源国产化,重复性达0.1nm,已进入长江存储测试线。

 A股产业链催化

设备端:新莱应材(真空系统)、至纯科技(清洗设备)、北方华创(刻蚀/薄膜)受益。

材料端:江丰电子(靶材)、安集科技(抛光液)、南大光电(光刻胶)或迎需求增长。

检测端:奥普光电(光学量测)、长川科技(测试设备)

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