盛剑TECH | 半导体附属装备及核心零部件-总览

盛剑半导体是盛剑科技旗下子公司，产品以真空设备、工艺废气处理设备、温控设备为代表，旨在打造一个集研发、制造、销售和维保服务为一体的半导体附属装备及核心零部件平台。

盛剑半导体一路发展，工艺废气处理设备（L/S）实现半导体先进工艺段全面覆盖，引领行业技术变革。在集成电路行业头部客户实现大规模交付，行业影响力稳步提升；面对真空设备、温控设备高度依赖进口局面，公司实现技术自主可控，成为突破技术封锁的排头兵。

盛剑半导体逐步完成工艺废气处理设备、真空设备和温控设备的国产化研制。

（已有产品和在研产品矩阵图）

上述设备共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是半导体制程中不可或缺的重要组成部分。

真空设备可使反应腔体内部形成发生反应所必须的真空环境，并抽离工艺废气，传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理；温控设备可对反应腔进行高精密的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求。